Развитие литографических технологий обсудили на заседании Научного совета ОНИТ РАН с участием резидента ОЭЗ «Технополис Москва»

Представители особой экономической зоны «Технополис Москва» (далее — ОЭЗ) принимают системное участие в обсуждении фундаментальных вопросов развития информационно-вычислительных и управляющих систем. Эта деятельность осуществляется в рамках взаимодействия с Отделением нанотехнологий и информационных технологий Российской академии наук (далее — ОНИТ РАН).
Одним из актуальных направлений, рассматриваемых на площадке Научного совета ОНИТ РАН, является развитие литографических технологий — ключевого элемента производственной цепочки в микроэлектронной промышленности.
 
На очередном заседании Научного совета ОНИТ РАН в качестве одной из основных тем повестки было определено современное состояние и перспективы развития литографии.
С докладом выступил:
Анатолий Ковалев — генеральный директор ООО «ЗНТЦ», являющегося резидентом ОЭЗ «Технополис Москва».
В своём выступлении докладчик представил актуальные сведения о научно-технических решениях, реализуемых компанией в рамках локализации производства литографических степперов, а также изложил стратегические планы предприятия.
В ходе доклада были обозначены следующие приоритетные направления деятельности предприятия-резидента:
- создание полного цикла фотолитографии без применения импортного оборудования. Указанная мера направлена на обеспечение технологической независимости в сфере микроэлектроники;
- снижение себестоимости и технических рисков в процессе производства микросхем. Реализация данного направления позволит повысить экономическую эффективность выпуска микроэлектронной продукции;
- масштабирование оборудования до топологических норм 130/90 нм. Достижение указанных норм является промежуточным этапом на пути к освоению более тонких технологических процессов.

Участие генерального директора предприятия-резидента ОЭЗ «Технополис Москва» — в заседании Научного совета ОНИТ РАН подтверждает следующие факты:
- на территории ОЭЗ формируются и развиваются передовые технологии в области микроэлектроники;
- резиденты ОЭЗ интегрированы в систему научно-технической экспертизы на уровне Российской академии наук;
- ОЭЗ «Технополис Москва» выступает площадкой для локализации критически важных производств, имеющих стратегическое значение для отрасли.
 
ОЭЗ «Технополис Москва» продолжает системную работу по привлечению высокотехнологичных производств и обеспечению их взаимодействия с профильными научными организациями. Участие резидентов в заседаниях Научного совета ОНИТ РАН способствует ускорению внедрения инноваций и повышению технологического суверенитета Российской Федерации в сфере микроэлектроники.